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  • 解决方案
  • 高得环保科技为您提供水处理领域最专业的整体解决方案
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  • 电子行业解决方案


  • 【概述】

    半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。（一般要求超纯水电阻率18.2MΩ.cm(25℃)、TOC＜5ppb、细菌内毒素＜0.03EU/ml）这对电子工业纯水、超纯水处理系统工艺及其产品的易用性、自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求。

    【国家标准】（GB/T11446.1-1997）

    目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。
    中国国家电子级超纯水规格 GB/T11446.1-1997

     

    电阻率
    25℃
    MΩ*cm

    硅
    ≤μg/L

    铜
    ≤μg/L

    锌
    ≤μg/L

    镍
    ≤μg/L

    钠
    ≤μg/L

    钾
    ≤μg/L

    氯
    ≤μg/L

    >1μm颗粒
    ≤    个/ml

    细菌
    ≤    个/ml

    硝酸根
    ≤g/L

    磷酸根
    ≤μg/L

    硫酸根
    ≤μg/L

    TOC
    ≤μg/L

    EW-I

    ≥18*

    2

    0.2

    0.2

    0.1

    0.5

    0.5

    1

    0.1

    0.01

    1

    1

    1

    20

    EW-II

    ≥15 **

    10

    0

    0

    1

    2

    2

    1

    5

    0.1

    1

    1

    1

    100
    注*（95％时间不低于17），**（95％ 时间不低于13）
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